發布時間：2022年05月31日 17時55分17秒

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　　在微壓測量領域中由于壓力數值較小，對敏感元件產生的物理變化也相應的小很多。這就要求了敏感元件需要滿足相對較高的靈敏度了。而壓力傳感器由于靈敏度較高頻率對壓力的變化比較敏感。因此在低壓高精度的測量中有著相對較好的性能表現。當精度要求不是很高的情況下，擴散硅和電容式可以兼顧精度和成本。擴散硅壓力傳感器的靈敏度較高，其kPa也可應用于微壓下的表壓絕壓測量。

　　那么在低壓和中壓的測量應用中量程范圍可選性相對來說比較地廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴散硅式，陶瓷電容電阻式，金屬應變式傳感器擴散硅式靈敏度高和體積小以及生產工藝復雜且相對成本略高，而陶瓷式成本低、精度低、適合大批量低成本應用中，由于材料的特性其靈敏度低不耐壓力瞬變和機械沖擊。金屬應變類型考慮了成本和精度。經過熱處理的彈性體可以滿足不同測量介質的要求。根據不同的工藝，敏感元件包括濺射膜、玻璃微熔、應變片等。從低靈敏度到高靈敏度的范圍受到彈性體工藝的限制，然而在低壓下的測量精度相對較差，實用新型的優點是金屬彈性體能夠承受較大的沖擊。

　　而在中高壓的應用中擴散硅和金屬應變式各有著廣泛的應用，陶瓷受限于材料的強度高壓耐受強度較差。金屬應變式還具有較大的優勢，同時受益于金屬彈性體材料的強度可以承受幾百兆帕的壓力，同時能夠應對較大沖擊的應用場景。

　　壓力傳感器如果依照準確度等級來看的話從高精度的0.01級到低精度的4.0級，通常諧振壓力傳感器還可以滿足從低壓到高壓水平0.01到0.05級的測量要求。擴散硅傳感器的精度范圍為0.02～0.5級，陶瓷傳感器的精度范圍為0.2～4.0級，而金屬應變傳感器的精度范圍為0.5～4.0級。

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